近年来，市场对螺杆真空泵需求量越来越明显，参照目前抗腐蚀、环保要求，老式的真空泵已无法满足，越来越多的无油式、耐腐蚀性强的真空泵取代了老式的真空泵。真空泵在不断发展中，也正经受严格的考验，随着用户企业生产经营方式越来越有针对性，生产设备的选用也越来越概念化，环保意识逐渐增强，越来越多的企业逐渐提升了对螺杆真空泵等新设备的关注。

《中国螺杆真空泵行业发展趋势及竞争策略研究报告》分析显示：

2017年螺杆真空泵行业市场需求为2.70万台，2021年为4.09万台，2020年由于疫情原因，下游行业开工受影响，螺杆真空泵需求增速放缓。

螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。

1、分类

螺杆真空泵类型可分为内部压缩型螺杆真空泵，外部压缩型螺杆真空泵，双圆裂片式和三叶圆裂片式。基本原理非常相似，都是利用螺杆间容积的不断减小使其内部产生压缩。设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。螺杆真空泵类型外部压缩型螺杆真空泵，气体在泵体内停留的时间很短，这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高，在很多复杂的半导体工艺中表现出很高的稳定性。螺杆真空泵类型双圆裂片式和三叶圆裂片设计的原理相同，区别在于旋转一圈将气体分为双份还是三份。双圆裂片设计为了达到更好的真空度对各级的间隙有非常严格的要求，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。三叶圆裂片式设计的每一个级别都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。

2、用途

各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大，真空获得产品已经出现更新换代的局面，大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵。螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用于制药、化工、半导体等领域。

我国目前对螺杆真空泵的研究还处于初级研发阶段之中，面临着很多技术方面的难题需要解决，要确保螺杆真空泵的发展，则需要不断探索，将这些难以解决的难题转化为技术力量，这样势必会加快螺杆真空泵的推广与应用。

2021年中国市场上的螺杆真空泵产品供给量达到4.10万台，同比增长10.07%，其中高端产品主要来自进口，国产供给的产品主要为中低端产品。

多年来，由于螺杆真空泵的技术门槛高、资金投入大、研发周期长，该产品一直被欧洲、日本等企业垄断，我国集成电路领域对螺杆真空泵的需求长期依赖于进口，对我国集成电路的供应链形成严重制约。

近年来，我国已经涌现出上海汉钟精机股份有限公司、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、宁波鲍斯能源装备股份有限公司、厦门东亚机械工业股份有限公司等部分代表企业。目前螺杆真空泵行业企业分布较为分散，在华东、华南、东北等区域均有分布，但总体而言，经济发达的华东地区是螺杆真空泵企业数量较多的区域。